高速フォーカスおよびオートフォーカス用途向けのピエゾステージ

Apr 21, 2023

高帯域幅でサブ nm の解像度で対物レンズをスキャンして位置決めするように設計された PI のレンズ ポジショナ シリーズは、新世代のピエゾ Z フォーカス ステージである P-725 PIFOC ピエゾ フレクシャ ステージ製品ファミリーで拡張されています。 100µm、400µm、および業界をリードする 800µm の 3 つの移動範囲が用意されており、超解像顕微鏡、ウェーハ計測、レーザー材料加工などのアプリケーション向けに、ナノメートル精度の高性能高速焦点合わせが実現します。 次世代 P-725 ステージは、より高いパフォーマンスを提供するだけでなく、設置が簡単で、よりコンパクトで、1 つの顕微鏡タレットに複数のユニットを搭載することができます。

最高の直線性と安定性を実現する直接測定センサーを備えた摩擦のないピエゾドライブは、迅速な応答、高い剛性、数ミリ秒の高速整定時間を保証します。 コンピュータによって最適化された遊びのないたわみガイドシステムにより、再現性とフォーカシングの安定性が向上します。

ピエゾフレクチャーガイドによるフォーカシングステージとボイスコイル – クロスローラーガイドによるフォーカシングステージ

PI は両方のソリューションを提供し、同様の、または場合によっては異なる要件に対応します。 ピエゾフレクシャガイド付きフォーカシングステージはよりコンパクトで、真直度、平坦度が向上し、一般にガイド精度として知られる角度誤差が減少します。 フレクシャガイドも摩擦や摩耗がありません。 ただし、可動範囲は限られています。 移動範囲を長くするには、7 mm の垂直移動とユーザー調整可能なカウンターバランスを備えた PI の V-308 フォーカシング ステージなど、クロスローラー ベアリングを備えたボイス コイル駆動ステージがオプションです。 摩擦のない、摩耗のない、高精度のガイド システムを備えた長距離移動用のもう 1 つのオプションは、最近導入された A-142 小型ボイスコイル モーター駆動のエア ベアリング スライドです。

高速フォーカス、フリーズ、自動スキャンを備えたデジタル コントローラー

フォーカシング ステージに加えて、新しい E-709 コンパクト デジタル ピエゾ サーボ コントローラー/ドライバーは、前モデルの 2 倍のパワーと数倍の解像度である 20kHz のサンプリング レートを提供するように設計されました。 画質向上のための 4 次線形化、高速トラッキング、PI 独自の高速フォーカス & フリーズ機能などの高度な機能により、ユニットを外部 (フォーカス) センサーからフォーカス ステージに統合された位置センサーにスムーズに切り替えることができ、正確な精度を実現します。 、焦点面に関して校正された安定した動き。 LabVIEW用ドライバ、WindowsおよびLinux用ダイナミックライブラリ、MATLAB、MetaMorph、μManagerなどの包括的なソフトウェアパッケージが含まれています。インターフェースにはUSB、SPI、RS-232、アナログが含まれます。 サポートされている機能には、波形発生器、データレコーダー、オートゼロ、トリガー I/O が含まれます。

詳細については、www.physikinstrumente.com をご覧ください。

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