Optimal Engineering Systems が XYR を導入

Jan 01, 2024

2018 年 3 月 26 日 – Optimal Engineering Systems, Inc. (OES) の XYR-03-01 アライメント ステージは、角度のあるガラスの切断と研削、ウェーハのアライメント、半導体の取り扱い、レーザー切断と穴あけなどの用途向けの XY-Theta ステージです。 。 X 軸と Y 軸の線形分解能は 5µ (非マイクロステップ) または 0.125µ (使用中のステップ モーター ドライバーあたり 20 マイクロステップ)、再現性は 1.5µ、位置精度は 5µ です。 1 回転あたり 1 mm のリード スクリュー、プリロードされた V 溝およびクロス ローラー ベアリングにより、XYR-03-01 アライメント ステージの精度と剛性が向上します。 X 軸と Y 軸の直線移動量は 50 mm x 50 mm です。

直径 100 mm のシータ ステージは、90:1 の比率のウォーム ギアによって駆動されます。 シータ ステージの解像度は 0.02O (非マイクロステップ) または 0.001O (使用中のステップ モーター ドライバーあたり 20 マイクロステップ) です。 繰返し精度は0.005Ω、位置精度は0.01Ω、バックラッシは0.005Ωです。

二相ステッピングモーターが標準装備されています。 各軸の手動調整用のノブは、位置確認または閉ループ操作用のインクリメンタル エンコーダに置き換えることができます。 これらの黒色陽極酸化アルミニウム XY-Theta ステージは、新規または既存のシステムに統合できます。 互換性のあるモーション コントローラーは OES から入手でき、XYR-03-01 アライメント ステージは完全なプラグ アンド プレイ システムとして注文することもできます。

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